上海科研人员“定制”微器件 为新材料应用探路
2020-01-25 14:25:44

中新网上海1月25日电 (郑莹莹)微电子器件(简称:微器件)“潜伏”在人们日常生活中,比如一部普通手机的CPU(中央处理器)里有多达百亿个晶体管(微器件的一种)。据来自中国科学院上海技术物理研究所的消息,该所的王建禄研究员等人,通过新型制备方法,能按需定制微器件,有望加速未来的新型半导体材料的应用。相关成果于北京时间25日在线发表于国际期刊NatureElectronics(《自然·电子学》)。

王建禄研究员在上海接受媒体采访时介绍,传统的半导体微器件工艺过程十分繁琐复杂,例如,要通过几百道甚至上千道的工艺,才能获得常用的计算机芯片,研究团队探索的是:如何以简单的工艺,按需定制微器件。

可以这么描述他们的制备方法:用“纳米画笔”在“画布”上画出微器件。这里的“纳米画笔”指的是纳米尺度的针尖。“画布”则是一种特殊的纳米薄膜——铁电薄膜。

“这层具有极性的铁电薄膜就像一张纳米厚度的神奇画布,运用纳米画笔可以在画布上任意作画,画作就是各类微器件,还可以反复擦写画布,这种方法给制备微器件提供了丰富的想象力。”王建禄如是说。

王建禄同时也指出,这种制备方法适用于几乎所有的半导体薄膜材料,但由于传统材料的制备工艺已相对成熟,新方法更适合用于未来新型低维半导体材料的应用上。

据悉,这项研究由中国科学院上海技术物理研究所与复旦大学、华东师范大学、南京大学、中国科学院微电子所等多个课题组合作完成。

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